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變形小是離子滲氮與傳統(tǒng)氣體滲氮相比的優(yōu)點之一。然而，影響離子滲氮零件變形的因素很多，必須逐一給予解決才能得到最小的變形效果。
離子滲氮變形是指下列兩種情況，一是尺寸的變化（膨脹），二是形狀變化（扭曲、變形）。尺寸變化是由于離子滲氮時工件表層吸收了氮原子，原始組織的晶格常數(shù)增大，或生成各種氮化物。從宏觀來看，即表現(xiàn)為表層體積的略微增加。所以工件尺寸也略有增大，即“滲氮膨脹”現(xiàn)象。離子滲氮時尺寸膨大量取決于零件表層的吸氮量，因此，材料中合金元素含量多，滲氮溫度高，時間長，離子滲氮氣氛氮勢高均造成較大的吸氮量。由于離子滲氮中陰極濺射使尺寸縮小，因而抵消了一部分滲氮膨脹量。而且，隨處理時間的延長，甚至會使零件的重量增加率為負值。因此，離子滲氮的膨脹量要比氣體滲氮小。 在零件的邊緣棱角處，由于相鄰兩個面的疊加滲氮，產(chǎn)生了較大的突起，稱為“邊角凸起”，此處由于氮濃度、深度較大，也最容易產(chǎn)生脆性崩裂。因此滲氮零件設(shè)計時應(yīng)盡量避免尖角棱邊。由于離子滲氮時的陰極濺射作用，其邊緣突起現(xiàn)象也比氣體滲氮小得多。
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