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        離子滲氮保溫階段結(jié)束后進(jìn)入冷卻階段，常采用的冷卻方式有下面幾種：
        1、停止抽氣和供氣，切斷輝光電源，在原滲氮的氣氛中隨爐冷卻。如果離子滲氮設(shè)備的密閉性不高，漏氣率較大時(shí)，為避免零件在冷卻過(guò)程中氧化，可以在停泵和切斷輝光電流后向爐內(nèi)繼續(xù)沖入分解氨，當(dāng)爐壓達(dá)30-50托后關(guān)斷氣源。此法操作最為簡(jiǎn)便、省時(shí)，能保證滲氮后得到銀灰色的表面。
        2、階段輝光電源和氣源后將爐子抽到較高的真空度，滲氮零件在抽氣的過(guò)程中冷卻，此法需要設(shè)備能抽至10^-2托以上的真空度，才能保證滲氮件的外觀質(zhì)量，并且延長(zhǎng)了真空泵的工作時(shí)間。
        3、切斷輝光電源，供氣和抽氣系統(tǒng)繼續(xù)工作，滲氮零件在流動(dòng)的新鮮的滲氮?dú)夥罩欣鋮s。以未經(jīng)干燥的冷氨做氣源時(shí)，不宜采用此法。因?yàn)榱慵鋮s至450℃以下，氨氣接觸零件表面已不能被分解時(shí)，氣氛中的水汽將使零件表面氧化。此外，這種方法既延長(zhǎng)了真空泵的工作時(shí)間，還多消耗滲氮?dú)怏w。
        4、在稀薄的輝光保護(hù)下逐漸降溫至250℃以下，再停電隨爐冷卻。此法冷卻時(shí)間很長(zhǎng)，僅在有特殊需要時(shí)應(yīng)用。
        離子滲氮后零件需要快速冷卻時(shí)，可向爐內(nèi)通入惰性氣體，并用安置在爐內(nèi)的特制風(fēng)扇強(qiáng)制冷卻零件，或者快速打開(kāi)真空爐罩，把滲氮零件淬入油中冷卻，但后一方法將不可避免地使零件表面氧化。
        臨界溫度降到300℃以下，才可關(guān)掉爐子的冷卻水，零件溫度降至200℃以下即可出爐。出爐后，零件的非滲氮部位應(yīng)及時(shí)涂油，以防生銹。