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在熱處理過程中，先進的技術工藝很重要，但是先進的基礎設備設施更重要，所以，工作人員更應該注意平時在設備使用之后，每天給離子氮化爐進行日常保養(yǎng)工作。
1、爐體的檢查和保養(yǎng)：先檢查爐體密封是否良好，怎么判斷爐體是否良好呢？平日里只需清理爐內(nèi)粉末、雜物是平常一級保養(yǎng)。定時進行檢修，更換損壞的零件。當然這屬于二級保養(yǎng)，不需要頻繁地進行的，比如一個月進行一次。
2、真空泵的檢查和保養(yǎng)：檢查真空泵裝置油位是否正常，日常調(diào)整皮帶松緊；檢查各閥門是否是良好的。不定期的需要檢查真空泵，更換磨損零件；檢查調(diào)整真空計和閥。
3、氮氣系統(tǒng)的檢查和保養(yǎng)：日常需要清洗過濾器，更換硅膠。不定期地進行檢查管路更換已損零件。